ISO14644-1：2015

根據(jù)顆粒濃度對空氣潔凈度

進行分類

提供了按顆粒濃度對空氣潔凈度等級和大顆粒進行測試的程序和設(shè)備

ISO14644-2：2015

通過顆粒濃度監(jiān)測提供與空

氣潔凈度相關(guān)的潔凈室性能證據(jù)

規(guī)定了監(jiān)控和定期測試潔凈室或潔凈區(qū)的要求，以證明其待續(xù)符合ISO14644-l標準。

ISO14644-3：2019

檢測方法

規(guī)定了測量潔凈室、潔凈區(qū)或相關(guān)受控環(huán)境(包括分離裝置和受控區(qū)，以及所有相關(guān)結(jié)構(gòu)、空氣處

理系統(tǒng)、服務(wù)和公用設(shè)施)性能的適當測試方法．

ISO14644-4：2022

設(shè)計、建造和啟動

凈室的設(shè)計、建造和啟動提供了指導，包括新的和正在改造或翻新的潔凈室。

ISO14644-5：2004

運行

規(guī)定了潔凈室運行的基本要求。

ISO14644-6：2007

詞匯

術(shù)語和定義

ISO14644-7：2004

隔離裝置（潔凈風罩、手套

箱、隔離器、彶環(huán)境）

規(guī)定了隔離裝置的設(shè)計、建造、安裝測試和批準的要求．

ISO14644-8：2022

根據(jù)化學濃度對空氣潔凈度

進行分類(ACC)

涵蓋了潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中空氣傳播的分子污染物(ACC)的分類。

ISO14644-9：2022

表面顆粒潔凈度的分類

根據(jù)潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中的顆粒濃度，確定固體表面潔凈度等級分類。

ISO14644-1O：2022

根據(jù)化學濃度對表面沽凈度

進行分類

根據(jù)化學化合物或元素的存在，定義潔凈室表面浩凈度的分類系統(tǒng)。

ISO14644-12：2018

用納米級粒子濃度監(jiān)測空氣

潔凈度的規(guī)范

提供了按納米級顆粒濃度監(jiān)測空氣潔凈度的規(guī)范

ISO14644-13：2017

根據(jù)顆粒和化學分類，清潔

表面以達到規(guī)定潔凈度水平

將潔凈室表面、潔凈室設(shè)備表面和潔凈室材料表面消潔到規(guī)定的程度。

ISO14644-14：2016

通過空氣粒子濃度評估設(shè)備

的適用性

規(guī)定了評估設(shè)備在潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中適用性的方法。

ISO14644-15：2017

通過空氣中化學物質(zhì)濃度評估設(shè)備和材料的適用性

為評估預計在潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中使用的設(shè)備和材料的化學氣相潔凈度．提供要求和指南。

ISO14644-l6：2019

潔凈室和隔離裝置的能效

為優(yōu)化新的和現(xiàn)有的潔凈室、潔凈區(qū)和隔離裝置的能源使用和保持能源效率，提供指導和建議。

ISO14644- 17:2021

粒子沉積速率應用

污染控制程序一部分，對潔凈室一個或多個易損表面上顆粒沉積率(PDR)測量結(jié)果的解釋和應用提供指導．

ISO/DIS 14644-   18

耗材適用性評估

根據(jù)產(chǎn)品和工藝要求、潔凈度屬性和功能性能屬性，為評估個人和非個入消耗品在潔凈室、潔凈區(qū)或受控區(qū)的適當使用提供指導．